清除镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工作间,保持室内高度清洁是塑胶电镀厂真空镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区,除镀前要对基片、真空室内各种部件认真清洗外,还要进行真空烘烤除气。塑胶电镀厂技术人员还说要防止油脂带入真空室内;注意降低油扩散泵返油,对加热功率高的油扩散泵必须采取挡油措施。
对经过清洗处理的清洁表面,不能在大气环境中存放,遥远封闭容器或保洁柜储存,以减小灰尘的玷污。用刚氧化的铝容器储存玻璃衬底,可使烃类化合物蒸汽的吸附减至最小。因为这些容器优先吸附烃类化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应储存在真空干燥箱中。



